BT-959M/BT-959T大晶圆系列固晶机
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- 产品分类: BT-959大晶圆系列固晶机
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固晶机技术参数
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产品详情
固晶机技术参数
1. 系统参数
1.1超大工作台:长250mm x 宽150mm
1.2晶环数:单晶环
1.3晶环尺寸:8寸、10寸、12寸兼容
1.4点胶头数:单点胶
1.5上料方式:自动上料
1.6下料方式:自动下料
1.7固晶周期:240ms
1.8产能:15K/H
1.9适用支架:IC、半导体行业封装产品
1.10操作系统:windows 7
2. 电气参数
2.1输入电压:220V
2.2频率:50HZ
2.3气压:4mpa~6mpa
2.4整机功耗:1.8KW
3. 图像识别系统
3.1镜头放大倍数:0.18倍
3.2分辨率:30万
4. 图像识别精度
4.1双视觉
4.2识别精度±0.025
4.3观测范围50mil
5. 晶片台
5.1适用晶片:6mil*6mil~50mil*50mil
5.2晶环:8寸、10寸兼容
5.3晶片台行程:X轴196mm,Y轴196mm
5.4定位精度:1mil
5.5重复定位精度:0.5mil
6. 支架台
6.1适用支架尺寸:长230mm x 宽130mm
6.3定位精度:1mil
6.3重复定位精度:0.5mil
7. 顶针系统
7.1最大行程:4mm
7.2重复定位精度:1mil
7.3调节范围:2mm
8. 摆臂系统
8.1旋转角度:180°
8.2上下行程:8mm
8.3定位精度: 1mil
8.4重复定位精度:0.5mil
8.5摆臂压力:30g~80g
9. 点胶系统
9.1旋转角度:+/-13°
9.2上下行程:12mm
9.3定位精度:±0.5mil
10. 体积和重量
10.1体积:长1150mm*宽1220mm*高1600mm
10.2重量:850 KG
二、性能优势:
1、超大行程工作台,适用支架尺寸:长:230mm*宽:130mm;
2、独创180°旋转摆臂结构,更快、更稳定,实际产能每小时可达15K以上;
3、无缝柔性上下料方式,有效避免特殊支架卡料问题;
4、自带芯片扩晶功能;
5、晶圆台同时可兼容6寸、8寸、10寸、12寸晶元。
6、直线电机结构,使用寿命更长、精度更高;
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